
CMZ計(jì)量型三坐標(biāo)
CMZ系列計(jì)量型三坐標(biāo)測量機(jī)是天準(zhǔn)生產(chǎn)的高端計(jì)量設(shè)備。采用固定橋結(jié)構(gòu)及碳化硅陶瓷的Z軸組合,保證了機(jī)械結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性。直線電機(jī)的運(yùn)用使其在保證精度的同時,提供更高的測量速度和加速度,可滿足復(fù)雜零部件的檢測需求。該系列裝備具有精度卓越、測量效率高、性能穩(wěn)定等特點(diǎn),可幫助實(shí)現(xiàn)精密加工、裝配和質(zhì)量控制,應(yīng)用于計(jì)量檢測、航空航天、國防科工、汽車制造及電子工業(yè)等領(lǐng)域。


1、計(jì)量級精度
得益于良好的系統(tǒng)設(shè)計(jì),可實(shí)現(xiàn)亞微米級精度測量
2、優(yōu)異的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
測量機(jī)采用固定橋式的高剛性機(jī)械結(jié)構(gòu),使用花崗巖橫梁、底座和立柱,以及精密SIC陶瓷Z軸的組合,保持機(jī)械結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性,抗外界干擾能力強(qiáng)
移動工作平臺采用雙燕尾式氣浮導(dǎo)軌,確保系統(tǒng)測量和系統(tǒng)承載的同時提供良好的穩(wěn)定性
3、極致的穩(wěn)定性
碳化硅陶瓷Z軸具有熱膨脹系數(shù)小、剛性強(qiáng)以及質(zhì)量輕等優(yōu)點(diǎn),在保證測量系統(tǒng)穩(wěn)定性的同時,亦提高了運(yùn)動特性
各軸采用預(yù)載空氣軸承及環(huán)抱式布局,具有高剛性、無接觸、低摩擦以及低磨損的特點(diǎn),有效保證機(jī)器的使用壽命,減少測量不確定性的發(fā)生次數(shù)
采用零膨脹系數(shù)光柵尺,分辨率高達(dá)到納米級別,且不受外界溫度影響,保證機(jī)器的高精度和穩(wěn)定性
4、安全性
Z軸采用柔性平衡氣缸,確保Z軸運(yùn)動的可靠性
Z軸平衡氣缸具有氣動邏輯保護(hù)和硬件抱死保護(hù)兩種保護(hù)機(jī)制,可在緊急情況下確保探測系統(tǒng)的安全
5、自主研發(fā),具有更好的適配性




型號 | 行程范圍(mm) | 外形尺寸(mm) | ||||
X | Y | Z | Lx | Ly | Lz | |
CMZ686 | 600 | 800 | 600 | 1682 | 2107 | 3260 |
CMZ8106 | 800 | 1000 | 600 | 1882 | 2557 | 3260 |
CMZ10128 | 1000 | 1200 | 800 | 2082 | 3007 | 3660 |
CMZ10158 | 1000 | 1500 | 800 | 2082 | 3582 | 3660 |
CMZ121510 | 1200 | 1500 | 1000 | 2282 | 3507 | 4060 |
CMZ122010 | 1200 | 2000 | 1000 | 2282 | 4632 | 4060 |
長度測量最大允許誤差 MPE(E0) (μm) | ||||||
0.3μm+L/400起 |
備注:產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)修改因產(chǎn)品更新會有變動,具體以技術(shù)協(xié)議為準(zhǔn)
精度指標(biāo):根據(jù)ISO 10360-2:2009,ISO 10360-5:2010 坐標(biāo)測量機(jī)的性能評定標(biāo)準(zhǔn)