CMU高精度三坐標(biāo)
CMU系列高精度三坐標(biāo)測量機(jī)是工業(yè)領(lǐng)域高精度測量需求的理想選擇，采用單邊高架結(jié)構(gòu)，移動質(zhì)量更輕，有效提高運動性能以及精度穩(wěn)定性。直線電機(jī)的運用，在保證精度的同時，提供更高的測量速度和加速度，可滿足復(fù)雜零部件的檢測需求。該系列裝備具有精度卓越、測量效率高、性能穩(wěn)定等特點，可幫助實現(xiàn)精密加工、裝配和質(zhì)量控制，應(yīng)用于汽車制造、醫(yī)療行業(yè)、電子工業(yè)及加工制造等領(lǐng)域。
1、優(yōu)異的結(jié)構(gòu)設(shè)計
CAE輔助設(shè)計分析，減少結(jié)構(gòu)設(shè)計的偏差，提高結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性，保證精度的長期穩(wěn)定
單邊直驅(qū)移動橋結(jié)構(gòu)，移動質(zhì)量更輕，驅(qū)動更接近移動質(zhì)心，有效提高運動性能和精度穩(wěn)定性
2、極致的穩(wěn)定性
關(guān)鍵結(jié)構(gòu)部分采用高精密碳化硅陶瓷材料，移動橋在質(zhì)量更輕的同時，具備更高剛性與更低溫度線膨脹性能，極大提高了精度與長期可靠性
高剛性高性能氣浮導(dǎo)向，無摩擦無磨損，三軸均采用四面環(huán)抱式設(shè)計，具備氣浮壓力監(jiān)測功能，有效確保穩(wěn)定性
三軸采用超低線溫度線膨脹系數(shù)光柵尺，對溫度變化不敏感，有效提高整機(jī)的精度
3、安全性
Z軸采用柔性平衡氣缸，確保Z軸運動的可靠性
Z軸平衡氣缸具有氣動邏輯保護(hù)和硬件抱死保護(hù)兩種保護(hù)機(jī)制，可在緊急情況下確保探測系統(tǒng)的安全
4、自主研發(fā)，具有更好的適配性
| 型號 | 行程范圍(mm) | 外形尺寸(mm) | ||||
| X | Y | Z | Lx | Ly | Lz | |
| CMU686 | 600 | 800 | 600 | 1479 | 1932 | 2780 |
| CMU8106 | 800 | 1000 | 600 | 1679 | 2132 | 2830 |
| CMU10128 | 1000 | 1200 | 800 | 1879 | 2340 | 3158 |
| CMU10158 | 1000 | 1500 | 800 | 1879 | 2632 | 3158 |
| CMU10208 | 1000 | 2000 | 800 | 1879 | 3230 | 3158 |
| CMU121510 | 1200 | 1500 | 1000 | 2104 | 2632 | 3292 |
| CMU122010 | 1200 | 2000 | 1000 | 2104 | 3230 | 3292 |
| CMU152012 | 1500 | 2000 | 1200 | 2630 | 3230 | 3950 |
| CMU152512 | 1500 | 2500 | 1200 | 2630 | 4037 | 3950 |
| CMU153012 | 1500 | 3000 | 1200 | 2630 | 4844 | 3950 |
| 長度測量最大允許誤差 MPE(E0) (μm) | ||||||
| 0.9μm+L/350起 | ||||||
備注：產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)修改因產(chǎn)品更新會有變動，具體以技術(shù)協(xié)議為準(zhǔn)
精度指標(biāo)：根據(jù)ISO 10360-2:2009，ISO 10360-5:2010 坐標(biāo)測量機(jī)的性能評定標(biāo)準(zhǔn)
