LDI激光直接成像設備
LASER DIRECT IMAGING
LDI激光直接成像設備
天準 TZDI 系列激光直接成像設備，采用亞微米級精密驅控平臺、全新一代 DMD 控制技術以及光學成像設計，融合天準視覺算法、融合標定、補償算法等技術，以確保更高的成像質量、產能及對位精度。適用于剛性板領域的雙面板、多層板、HDI 板，以及 FPC、IC 載板的影像轉移。
| 設備型號 | TZDI-40 | TZDI-35 | TZDI-25 | TZDI-20 | TZDI-12 | TZDI-6 | TZDI-4 |
| 最大基板尺寸 | 630×810mm | 630×810mm | 530×850mm | 550×810mm | 560×810mm | 530×853mm | 530×854mm |
| 基板厚度 | 0.025-6mm | 0.025-6mm | 0.025-6mm | 0.025-6mm | 0.025-6mm | 0.025-6mm | 0.025-6mm |
| 極限解析 | 40μm | 35μm | 25μm | 20μm | 12μm | 6μm | 4μm |
| 量產解析 | 60μm | 50μm | 40μm | 35μm | 20μm | 12μm | 8μm |
| 線寬精度 | ±10% | ±10% | ±10% | ±10% | ±10% | 1μm | 0.75μm |
| 對位精度 | ±12μm | ±12μm | ±10μm | ±8μm | ±7μm | ±6μm | ±5μm |
| 層間對位精度 | 24μm | 20μm | 20μm | 20μm | 16μm | 10μm | 10μm |
| 單機產能 | 10秒/面 @20mj/cm2 | 10秒/面 @20mj/cm2 | 7秒/面 @20 mj/cm2 （FPC：250×400 mm，四拼） | 7秒/面 @20 mj/cm2 （FPC：250×350 mm，四拼） | 7秒/面 @20 mj/cm2 （250×350 mm，四拼） | 22秒/面 @20mj/cm2 | 37.5 s/面 @100mj/cm2 |
| 自動線產能 | 7.5秒/片 @20mj/cm2 | 7.5秒/片 @20mj/cm2 | 6秒/面 @20 mj/cm2 （FPC：250×400 mm，四拼） | 6秒/面 @20 mj/cm2 （FPC：250×350 mm，四拼） | 6秒/面 @20 mj/cm2 （250×350 mm，四拼） | 22秒/片 @20mj/cm2 | _ |
| 推薦應用 | MLB( 內外層 )，陶瓷基板 | MLB( 內外層 )，陶瓷基板 | FPC、MLB( 內外層 )、HDI | HDI, FPC | IC substrate, SLP, FPC | IC substrate | IC substrate |
| 設備型號 | TZUVDI-35D6 | TZUVDI-35D12 | TZUVDI-20D7 |
| 最大基板尺寸 | 625×810mm | 612×810mm | |
| 基板厚度 | 0.025-6mm | 0.025-6mm | |
| 阻焊最小開窗 | 100μm | 50μm | |
| 最小阻焊橋 | 75μm | 50μm | |
| 開窗精度 | ±10% | ±10% | |
| 對位精度 | ±12μm | ±8μm | |
| 單機產能 | 25秒/面 @500mj/cm2 | 15秒/面 @500mj/cm2 | 75秒/面 @500mj/cm2 |
| 自動線產能 | 25秒/片 @500mj/cm2 | 15秒/片 @500mj/cm2 | 75秒/片 @500mj/cm2 |
| 推薦應用 | MLB、HDI、FPC | IC 載板、HDI | |
| 設備型號 | TZDI-12R | TZDI-20R | TZDI-30R | TZDI-35R |
| 最大基板尺寸 | 寬度：240-520mm 長度：1200 - 3600mm | |||
| 基板厚度 | 0.36-0.25mm | |||
| 極限解析 | 12/12μm | 20/20μm | 25/25μm | 35/35μm |
| 量產解析 | 25/25μm | 35/35μm | 40/40μm | 55/55μm |
| 線寬精度 | ±10% | |||
| 對位精度 | ±6μm | ±10μm | ±12μm | |
| 產能 | 1.3 | 3.5 | 3.5 | 4 |
| 以單面板產品尺寸500×800 mm 為例,能量50mj/cm2，1 面/ 次為準 | 以單面板產品尺寸250×1200 mm 為例，能量50mj/cm2，1 面/ 次為準 | |||
| 推薦應用 | FPC | |||
| 設備型號 | TZLUVDI-35D6 | TZLUVDI-35D12 | TZLUVDI-20D7 |
| 最大基板尺寸 | 625×810mm | 612×810mm | |
| 基板厚度 | 0.025-6mm | 0.025-6mm | |
| 阻焊最小開窗 | 100μm | 50μm | |
| 最小阻焊橋 | 75μm | 50μm | |
| 開窗精度 | ±10% | ±10% | |
| 對位精度 | ±12μm | ±8μm | |
| 單機產能 | 25秒/面 @500mj/cm2 | 15秒/面 @500mj/cm2 | 75秒/面 @500mj/cm2 |
| 自動線產能 | 25秒/片 @500mj/cm2 | 15秒/片 @500mj/cm2 | 75秒/片 @500mj/cm2 |
| 推薦應用 | MLB、HDI、FPC | IC 載板、HDI | |
